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发明名称
摘要
申请公布号
FR2093964(A1)
申请公布日期
1972.02.04
申请号
FR19710019798
申请日期
1971.06.01
申请人
LICENTIA PATENT VERWALTU
发明人
分类号
H01L21/00;H01L21/22;H01L29/00;H01L29/36;(IPC1-7):H01L9/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
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