TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具及其制备方法

摘要

本发明提供的TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具及其制备方法，属于机械切削加工领域。该涂层刀具基体材料为硬质合金或高速钢，采用多弧离子镀+中频磁控溅射的方法制备，其结构为多层结构，刀具表面为ZrSiN层，ZrSiN层与TiSiN层之间有TiZrSiN过渡层，TiSiN层与基体间有Ti过渡层，其中TiSiN和ZrSiN层中Si含量的原子百分比为6～10%，本发明将TiSiN涂层高硬性及ZrSiN涂层低摩擦系数良好结合，刀具不仅具有高硬度，还有良好的摩擦磨损性能和优异的抗高温氧化性，切削过程中可减少粘结，减少刀具磨损，提高刀具寿命。该涂层刀具可广泛应用于干切削加工及难加工材料的切削加工。

主权项

TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具，刀具基体材料为高速钢或硬质合金，其特征在于：涂层为多层结构，刀具表面为ZrSiN层，ZrSiN层与TiSiN层之间有TiZrSiN过渡层，TiSiN层与基体间有Ti过渡层；以上所述TiSiN层、ZrSiN层Si含量的原子百分数在6～10％范围内。