一种用于分子束外延系统的臭氧注入器

摘要

本实用新型属于臭氧注入技术领域，具体为一种用于分子束外延系统的臭氧注入器。包括线性驱动装置和水冷臭氧注入装置两部分；线性驱动装置包括带刻度底座支柱、导向柱、丝杆、传动轴套、直行机构中板、直行机构上板、直行机构下板、波纹管组件和手轮；水冷臭氧注入装置包括法兰接口、水冷套、底部水冷密封件、进水管、出水管和臭氧进气管道；法兰接口与波纹管组件的连接，使线性驱动装置和水冷臭氧注入装置连接起来。实用新型的优点在于在臭氧注入分子束外延系统超高真空腔体内部之前的过程中，通过水冷降低臭氧的温度，从而有效缓减臭氧的分解率，确保高纯度、强氧化性的臭氧能到达薄膜样品生长位置。

主权项

一种用于分子束外延系统的臭氧注入器，其特征在于包括线性驱动装置（1）和水冷臭氧注入装置（2）两部分；其中：所述线性驱动装置（1）包括带刻度底座支柱（3）、导向柱（4）、丝杆（5）、传动轴套（6）、直行机构中板（7）、直行机构上板（8）、直行机构下板（9）、波纹管组件（10）和手轮（11）；其中：所述带刻度底座支柱（3）、丝杆5和导向柱（4）依次竖直平行排列，三者垂直穿过直行机构中板（7），且三者的上端同直行机构上板（8）垂直连接，下端同直行机构下板（9）垂直连接；所述丝杆（5）为可转动连接，所述直行机构中板（7）可上下滑动；传动轴套（6）嵌套在直行机构中板（7）和直行机构下板（9）之间的丝杆（5）上，通过螺纹连接，且传动轴套（6）同直行机构中板7固定链接；波纹管组件（10）中的波纹管为可伸缩管，其上端和下端分别与直行机构中板（7）和直行机构下板（9）固定连接；所述丝杆（5）的上端穿过直行机构上板（8），同手轮（11）相连接；所述水冷臭氧注入装置（2）包括法兰接口（12）、水冷套（13）、底部水冷密封件（14）、进水管（15）、出水管（16）和臭氧进气管道（17）；其中：所述水冷套（13）上端与法兰接口（12）密封连接，下端与底部水冷密封件（14）连接；所述进水管（15）穿过法兰接口（12），管口靠近水冷套（13）内的顶部，其管壁与法兰接口（12）密封连接；所述出水管（16）穿过法兰接口（12），且管口伸入到水冷套（13）内的底部，靠近水冷密封件（14），其管壁与法兰接口（12）密封连接；所述臭氧进气管道（17），其一端设有臭氧进气口（18），另一端设有臭氧出气口（19）；臭氧进气管道（17）的臭氧出气口（19）通过法兰接口（12）伸入水冷套（13）内，再通过底部水冷密封件（14）伸出；臭氧进气管道（17）同法兰接口（12）和底部水冷密封件（14）密封连接；所述水冷套（13）穿过波纹管组件（10），法兰接口（12）与波纹管组件（10）的上端密封连接，使线性驱动装置（1）和水冷臭氧注入装置（2）两者连接起来。