| 发明名称 | 一种双层水冷籽晶杆结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种双层水冷籽晶杆结构，包括水冷套（1）和籽晶杆（2）及第一密封件（3）、第二密封件（4），所述的籽晶杆（2）在所述的水冷套（1）的中间；所述的水冷套（1）与提拉机构刚性连接，并在第一密封件（3）处通过波纹管（5）与晶体炉连接，所述的籽晶杆（2）通过第二密封件（4）与所述的水冷套（1）连接。所述籽晶杆（2）与所述的水冷套（1）之间有10mm的间歇，没有任何接触。所述的籽晶杆（2）设置第一冷却出水口（9）、第一冷却进水口（8），所述的水冷套（1）设置第二冷却出水口（7）、第二冷却进水口（6）。本实用新型在引晶过程中可以只使用水冷套（1）进行间接水冷，保证了引晶过程中晶体生长质量，在引晶结束后又可对晶杆（2）直接进行水冷，可加速晶体生长。 | ||
| 申请公布号 | CN204162832U | 申请公布日期 | 2015.02.18 |
| 申请号 | CN201420592196.3 | 申请日期 | 2014.10.14 |
| 申请人 | 杭州晶一智能科技有限公司 | 发明人 | 刘瑜;陈晓玲 |
| 分类号 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 主分类号 | C30B17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种双层水冷籽晶杆结构，包括水冷套（1）和籽晶杆（2）及第一密封件（3）、第二密封件（4），其特征在于：所述的籽晶杆（2）在所述的水冷套（1）的中间；所述的水冷套（1）与提拉机构刚性连接，并在第一密封件（3）处通过波纹管（5）与晶体炉连接，所述的籽晶杆（2）通过第二密封件（4）与所述的水冷套（1）连接。 | ||
| 地址 | 310013 浙江省杭州市西湖区文三路199号创业大厦1402室 | ||