静电吸盘

摘要

本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷基板；陶瓷电介体，设置在所述陶瓷基板的上侧且具有放置被处理基板的第1主面；及电极，设置在所述陶瓷基板与所述陶瓷电介体之间，其特征为，所述陶瓷电介体的材质为陶瓷烧结体，在所述陶瓷电介体的所述第1主面上设有多个突起部与供气的槽，在所述槽的底面设有贯穿到所述第1主面相反侧的所述陶瓷基板的第2主面的通孔，所述电极和所述槽之间的距离或者与所述电极和所述第1主面之间的距离相同或者更大。

主权项

一种静电吸盘，具备：陶瓷基板；陶瓷电介体，设置在所述陶瓷基板的上侧且具有放置被处理基板的第1主面；及电极，设置在所述陶瓷基板与所述陶瓷电介体之间，其特征为，所述陶瓷电介体的材质为陶瓷烧结体，所述陶瓷电介体在室温下的体积电阻率为1×10¹⁴Ω·cm以上，在所述陶瓷电介体的所述第1主面上设有多个突起部与供气的槽，在所述槽的底面设有贯穿到所述第1主面相反侧的所述陶瓷基板的第2主面的通孔，所述电极和所述槽之间的距离或者与所述电极和所述第1主面之间的距离相同或者更大，所述电极至少包括1对双极电极，可向所述双极电极的一个电极与另一个电极外加相互不同极性的电压，分开配设所述一个电极与所述另一个电极，所述槽配设在所述一个电极与所述另一个电极之间。