| 发明名称 | 一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种铝镓氮基日盲紫外探测器及其制备方法，包括由下至上依次设置的蓝宝石衬底、AlN成核层、Al<sub>x1</sub>Ga<sub>1-x1</sub>N缓冲层、n型Al<sub>x2</sub>Ga<sub>1-x2</sub>N层、非掺杂i型Al<sub>x3</sub>Ga<sub>1-x3</sub>N吸收层、n型Al<sub>x4</sub>In<sub>y1</sub>Ga<sub>1-x4-y1</sub>N/Al<sub>x5</sub>In<sub>y2</sub>Ga<sub>1-x5-y2</sub>N超晶格分离层、非掺杂i型Al<sub>x6</sub>Ga<sub>1-x6</sub>N倍增层、p型Al<sub>x7</sub>Ga<sub>1-x7</sub>N层和p型GaN层，在n型Al<sub>x2</sub>Ga<sub>1-x2</sub>N层上引出n型欧姆电极，在p型GaN层上引出p型欧姆电极。本发明采用多周期n型Al<sub>x4</sub>In<sub>y1</sub>Ga<sub>1-x4-y1</sub>N/Al<sub>x5</sub>In<sub>y2</sub>Ga<sub>1-x5-y2</sub>N超晶格作为分离层将吸收层与倍增层分离的结构，能够有效增加倍增层中的电场，在高电场作用下可以产生均匀的雪崩倍增，有助于提高日盲紫外探测器雪崩倍增因子。 | ||
| 申请公布号 | CN104362213A | 申请公布日期 | 2015.02.18 |
| 申请号 | CN201410462571.7 | 申请日期 | 2014.09.11 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 张雄;王书昶;崔一平 |
| 分类号 | H01L31/107(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/036(2006.01)I;H01L31/108(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/107(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人 | 黄成萍 |
| 主权项 | 一种铝镓氮基日盲紫外探测器，其特征在于：包括由下至上依次设置的蓝宝石衬底(101)、AlN成核层(102)、Al<sub>x1</sub>Ga<sub>1‑x1</sub>N缓冲层(103)、n型Al<sub>x2</sub>Ga<sub>1‑x2</sub>N层(104)、非掺杂i型Al<sub>x3</sub>Ga<sub>1‑x3</sub>N吸收层(105)、n型Al<sub>x4</sub>In<sub>y1</sub>Ga<sub>1‑x4‑y1</sub>N/Al<sub>x5</sub>In<sub>y2</sub>Ga<sub>1‑x5‑y2</sub>N超晶格分离层(106)、非掺杂i型Al<sub>x6</sub>Ga<sub>1‑x6</sub>N倍增层(107)、p型Al<sub>x7</sub>Ga<sub>1‑x7</sub>N层(108)和p型GaN层(109)，在n型Al<sub>x2</sub>Ga<sub>1‑x2</sub>N层(104)上引出n型欧姆电极(110)，在p型GaN层(109)上引出p型欧姆电极(111)。 | ||
| 地址 | 211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号 | ||