一种板式PECVD的特气管路

摘要

本实用新型公开了一种板式PECVD的特气管路，其包含三组气路，每组气路上设置两个质量流量控制器MFC，前面两组气路上每组设置两组特气孔，后面一组气路上设置四组特气孔，每组特气孔包含两个硅烷特气孔和一个氨气特气孔。该特气管路供给板式PECVD设备中每小组的气体流量更加均匀，也增加了设备工艺参数的调整范围，能够实现三层及更多层减反射膜的镀膜工艺，提高了电池的转化效率，且膜的颜色均匀性好，成品良率高，显著降低了电池片的生产成本。

主权项

一种板式PECVD的特气管路，其特征在于：其包含三组气路，每组气路上设置两个质量流量控制器MFC，前面两组气路上每组设置两组特气孔，后面一组气路上设置四组特气孔，每组特气孔包含两个硅烷特气孔和一个氨气特气孔。