发明名称 | 籽晶脱胶工艺 | ||
摘要 | 本发明涉及一种籽晶脱胶工艺,其步骤如下:冲洗切割后的籽晶;然后将籽晶置于添加有表面活性剂的环境下进行超声清洗;再将籽晶放入加有中强酸的70~90℃的热水中进行热水脱胶。上述籽晶脱胶工艺对切割后的籽晶依次进行冲洗、超声清洗、热水脱胶等步骤,其中超声清洗过程中加入表面活性剂,热水脱胶为在加有中强酸的70~90℃的热水中进行,表面活性剂可加速清除籽晶表面的砂浆,同时还防止籽晶表面氧化,中强酸在清洁籽晶表面的同时也有助于脱胶,从而能够对籽晶进行快速脱胶处理,且脱胶后的籽晶表面洁净,无缺陷。 | ||
申请公布号 | CN102723403B | 申请公布日期 | 2015.02.18 |
申请号 | CN201210210841.6 | 申请日期 | 2012.06.25 |
申请人 | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 | 发明人 | 马莹;刘春艳;张琪 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 何平 |
主权项 | 一种籽晶脱胶工艺,其特征在于,步骤如下:冲洗切割后的籽晶;然后将籽晶置于添加有表面活性剂的环境下进行超声清洗;表面活性剂为体积百分比为2.5%的脂肪醇聚氧乙烯醚,超声强度32KHz,超声温度35℃,超声时间30min;再将籽晶放入加有中强酸的70~90℃的热水中进行热水脱胶;所述籽晶的厚度为10~30mm;所述热水脱胶过程中辅以超声,超声强度为28~40KHz,超声时间为40~50min。 | ||
地址 | 221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号 |