发明名称 |
封装结构和方法 |
摘要 |
一种封装元件其中没有有源器件。该封装元件包括:基板;通孔,位于基板中;顶部介电层,位于基板上方;以及金属柱,具有位于顶部介电层的顶面上方的顶面。该金属柱电连接到通孔。扩散势垒层位于该金属柱顶面上方。焊帽设置在该扩散势垒层上方。本发明还提供了封装结构和方法。 |
申请公布号 |
CN102810522B |
申请公布日期 |
2015.02.18 |
申请号 |
CN201210159351.8 |
申请日期 |
2012.05.21 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
余振华;郑心圃;侯上勇;许国经;谢政杰;施应庆;蔡柏豪;黄震麟;林俊成 |
分类号 |
H01L23/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L23/538(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/48(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;孙征 |
主权项 |
一种装置,包括:第一封装元件,其中,所述第一封装元件包括:基板;通孔,位于所述基板中;顶部介电层,位于所述基板上方;第一金属柱,所述第一金属柱的顶面位于所述顶部介电层的顶面上方,其中,所述第一金属柱电连接到所述通孔;第一扩散势垒层,位于所述第一金属柱的顶面上方;以及焊帽,位于所述第一扩散势垒层上方。 |
地址 |
中国台湾新竹 |