发明名称 封装结构和方法
摘要 一种封装元件其中没有有源器件。该封装元件包括:基板;通孔,位于基板中;顶部介电层,位于基板上方;以及金属柱,具有位于顶部介电层的顶面上方的顶面。该金属柱电连接到通孔。扩散势垒层位于该金属柱顶面上方。焊帽设置在该扩散势垒层上方。本发明还提供了封装结构和方法。
申请公布号 CN102810522B 申请公布日期 2015.02.18
申请号 CN201210159351.8 申请日期 2012.05.21
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 余振华;郑心圃;侯上勇;许国经;谢政杰;施应庆;蔡柏豪;黄震麟;林俊成
分类号 H01L23/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L23/538(2006.01)I 主分类号 H01L23/48(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种装置,包括:第一封装元件,其中,所述第一封装元件包括:基板;通孔,位于所述基板中;顶部介电层,位于所述基板上方;第一金属柱,所述第一金属柱的顶面位于所述顶部介电层的顶面上方,其中,所述第一金属柱电连接到所述通孔;第一扩散势垒层,位于所述第一金属柱的顶面上方;以及焊帽,位于所述第一扩散势垒层上方。
地址 中国台湾新竹