发明名称 ELECTRON MICROSCOPE DEFLECTION SYSTEM FOR DIRECTING THE BEAM AT A PREDETERMINED ANGLE AND DIRECTION AT THE OBJECT
摘要
申请公布号 US3644733(A) 申请公布日期 1972.02.22
申请号 USD3644733 申请日期 1967.06.08
申请人 SIEMENS AG. 发明人 OTTO WOLFF;DIETER KRAHL
分类号 G01Q30/02;H01J37/147;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/26;G01N23/22 主分类号 G01Q30/02
代理机构 代理人
主权项
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