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发明名称
ELECTRON MICROSCOPE DEFLECTION SYSTEM FOR DIRECTING THE BEAM AT A PREDETERMINED ANGLE AND DIRECTION AT THE OBJECT
摘要
申请公布号
US3644733(A)
申请公布日期
1972.02.22
申请号
USD3644733
申请日期
1967.06.08
申请人
SIEMENS AG.
发明人
OTTO WOLFF;DIETER KRAHL
分类号
G01Q30/02;H01J37/147;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/26;G01N23/22
主分类号
G01Q30/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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