用于判定基板之设备;APPARATUS FOR DETERMINING SUBSTRATE

摘要

提供一种用于判定基板之设备，其包含光发射单元、光接收单元、记忆单元与控制单元。光发射单元配置为发射光到基板之一表面上。光接收单元配置为接收从基板之该表面反射之光，并侦测光学讯息。记忆单元配置为储存所接收光之光学讯息与参考值。控制单元配置为藉由比对光学讯息与参考值而判定基板之该表面为基板之第一表面或第二表面。