| 摘要 |
本发明在提供一种，有效利用具备压力式流量控制部的高耐压力变动特性，藉由将降低式流量监测部组合在压力式流量控制部的上游侧，进行接近同时处理的流量监测，并且可使用监测流量自动调整压力式流量控制部的设定流量，而且，可达到装置大幅的小型化及低成本化的具流量监测器的流量控制装置。;本发明是由：设在上游侧的降低式流量监测部(BDM)；设在其下游侧的压力式流量控制部(FCS)；连结降低式流量监测部(BDM)与压力式流量控制部(FCS)，将降低式流量监测部(BDM)的监测流量(Q)传送到压力式流量控制部(FCS)的讯号传送电路(CT)；以及被设在压力式流量控制部(FCS)，根据来自前述降低式流量监测部(BDM)的监测流量(Q)调整压力式流量控制部(FCS)的设定流量(QS)的流量设定值调整机构(QSR)所构成。 |
