| 摘要 |
本发明之一态样之带电粒子束描绘装置具备：第1网格分割部，其系以第1网格尺寸，将试料之描绘区域虚拟分割成复数的第1网格区域；第2网格分割部，其系以第2网格尺寸，将试料之描绘区域虚拟分割成复数的第2网格区域，且该第2网格尺寸将成为第1网格尺寸除以一面移动位置一面进行的多程描绘之程序数后之尺寸的自然数分之1；照射量运算部，其系使用利用照射量临界值之照射量模型，对每第2网格区域，运算邻近效应被修正的带电粒子束之照射量；代表温度运算部，其系使用被运算的照射量中对应于多程描绘之程序量的照射量，对多程描绘之每程序，并且对每第1网格区域，运算因照射带电粒子束引起的导热而上升的第1网格区域之代表温度；多项式运算部，其系运算要素具有根据各程序之代表温度的照射量调变系数，和每第2网格之图案面积密度相乘之项的多项式；及描绘部，其系使用运算多项式之值和照射量临界值之差分在容许值内之照射量之带电粒子束，而在试料上描绘图案。 |
