线性马兰哥尼乾燥器中单次使用之冲洗;SINGLE USE RINSE IN A LINEAR MARANGONI DRIER

摘要

提供用于乾燥后CMP清洁设备中之湿基板的设备。设备提供清洗溶液(例如，DIW)的瀑布或浅储槽，可升高基板通过清洗溶液的瀑布或浅储槽。举例而言，在马兰哥尼制程中，可在基板上的清洗溶液介面处提供溶剂蒸汽。在某些实施例中，可减少升高基板通过之溶液的容积，这可降低或排除颗粒重新附着至基板。