陶瓷加热器及其制法;CERAMIC HEATER AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME

摘要

本发明之改善于陶瓷基材埋设加热器电极的陶瓷加热器的阻抗率温度依存性的逆转现象，进一步抑制电阻率的面内离散。本发明之静电吸盘10包括：圆盘状的氧化铝陶瓷基材12；埋设于该氧化铝陶瓷基材12之加热器电极14及静电电极16。氧化铝陶瓷基材12的表面，系晶圆载置面12a。加热器电极14，系配线于氧化铝陶瓷基材12的全面，例如，以一笔划的样式形成图案，施加电压会发热而将晶圆W加热。该加热器电极14，系以TiSi2为主成分者。