用于光储存媒体的介电溅镀靶材及介电层;DIELECTRIC SPUTTERING TARGET FOR OPTICAL STORAGE MEDIA AND DIELECTRIC LAYER FOR THE SAME

摘要

本发明提供一种含有一硫化锌(ZnS)及一以三氧化二铟(In2O3)为主成分之氧化金属组成物的用于光储存媒体的介电溅镀靶材及介电层。由于该氧化金属组成物之主成分为三氧化二铟，令用于光储存媒体的介电溅镀靶材可应用于直流(direct circuit)溅镀制程，且其所制得之介电层不仅能具有适当的光学特性及热稳定性，更具有良好之耐候性，进而提升光储存媒体之记录品质及使用寿命。