| 摘要 |
本发明的课题系在于提供在例如大型基板蒸镀用坩埚可发挥优良的节能效果之蒸发源装置。用以解决课题之手段为，一种蒸发源装置系在收容有蒸镀材料(1)之坩埚本体(2)突设形成有坩埚开口部(3)，且具备有加热前述坩埚本体(2)的本体加热部(4)和加热前述坩埚开口部(3)的开口部加热部(5)，其特征为设置加热控制部，该加热控制部控制前述开口部加热部(5)，使前述坩埚开口部(3)的加热开始时间较前述坩埚本体(2)的加热开始时间慢，且在前述坩埚本体(2)的温度到达蒸镀材料(1)的熔融温度或昇华温度之前开始进行前述坩埚开口部(3)的加热，当前述坩埚本体(2)的温度到达了蒸镀材料(1)的熔融温度或昇华温度时，前述坩埚开口部(3)的温度到达蒸镀材料(1)的熔融温度或昇华温度。 |
