制造粒状多晶矽之流体化床反应器及方法;FLUIDIZED BED REACTOR AND METHOD FOR PRODUCING GRANULAR POLYSILICON

摘要

本发明系关于一种用于制造粒状多晶矽的流化床反应器，其包含：一容器，具有一用于一具有粒状多晶矽的流化床的内反应器管，以及一反应器底部；一加热装置，用于加热该内反应器管之该流化床；至少一位于该反应器底部内用于供应流化气体的开口，以及至少一位于该反应器底部内用于供应反应气体的开口；一用于排出反应器废气的装置；用于供应矽颗粒的供应设备；以及一用于粒状多晶矽的取出导管，其中，一拉瓦尔喷嘴在该内反应器管外位于该等反应器底部中之开口的至少一者的上游，其适于使所供应的至少一质量流超临界地膨胀。