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经营范围
发明名称
热处理装置
摘要
于热处理装置中,将高温之气流以可更容易之方式加以调整。热处理装置1系具备有通道15、遮板构件8及操作装置9。通道15系构成为可使被加热之气体通过。遮板构件8系被设置用于对朝向可配置被处理物200之处理室5而通过通道15之气流A1进行调整。操作装置9系被设置用于自通道15的外部对遮板构件8进行操作。
申请公布号
TW201506166
申请公布日期
2015.02.16
申请号
TW102140995
申请日期
2013.11.12
申请人
光洋热系统股份有限公司
发明人
中西裕也;笠次克尚;岩野健二;浦崎义彦;池田真一
分类号
C21D1/00(2006.01);F27D7/02(2006.01);H01L21/324(2006.01)
主分类号
C21D1/00(2006.01)
代理机构
代理人
赖经臣宿希成
主权项
地址
日本
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