发明名称 热处理装置
摘要 于热处理装置中,将高温之气流以可更容易之方式加以调整。热处理装置1系具备有通道15、遮板构件8及操作装置9。通道15系构成为可使被加热之气体通过。遮板构件8系被设置用于对朝向可配置被处理物200之处理室5而通过通道15之气流A1进行调整。操作装置9系被设置用于自通道15的外部对遮板构件8进行操作。
申请公布号 TW201506166 申请公布日期 2015.02.16
申请号 TW102140995 申请日期 2013.11.12
申请人 光洋热系统股份有限公司 发明人 中西裕也;笠次克尚;岩野健二;浦崎义彦;池田真一
分类号 C21D1/00(2006.01);F27D7/02(2006.01);H01L21/324(2006.01) 主分类号 C21D1/00(2006.01)
代理机构 代理人 赖经臣宿希成
主权项
地址 日本