| 摘要 |
提供一种可简便制造出具有经微细加工之绝缘膜的有机电晶体元件之制造方法，该有机电晶体元件可于拨液性高的氟树脂膜上藉由湿式涂布法形成由感光性树脂形成之绝缘膜，且，以该感光性树脂膜经由光刻步骤形成之绝缘膜与由前述氟树脂形成之绝缘膜的密着性相当高。;于积层体上涂布感光性树脂之涂布液，形成感光性树脂膜，并使该感光性树脂膜局部曝光显影、形成第2绝缘膜而获得有机电晶体元件，前述积层体具有基板、闸极电极、闸极绝缘膜、源极电极、汲极电极、有机半导体层及第1绝缘膜，该第1绝缘膜系由氟树脂(F)构成且表面之水接触角在105°以上。前述感光性树脂含有具交联性基之氟树脂(A)及自由基聚合引发剂(C)，且固体成分中之氟原子含有率为10~45质量%。 |
