固定晶圆于晶舟之固定销及其制造方法

摘要

本发明涉及一种在晶圆加工及晶舟通过加工设备的过程中，将晶圆固定于晶舟的固定销，以及制造此种固定销的方法。本发明的目的是要提出抗磨损性非常高的固定销。此外，本发明还要提出一种制造此种固定销的方法。为达到上述目的，本发明的固定销至少在表面及连接在整个表面下方的区域有镀上一层碳化矽，其中碳化矽是由固定销的石墨转化而成。本发明提出的制造固定销的方法的特征是，使CFC或石墨制成的固定销在含有矽蒸汽的保护气体氛围中进行加热转化过程，在此过程中，至少固定销的表面会被转化为碳化矽。