| 摘要 |
本发明提供用以成像物场之微影投影装置，包含物镜；一个或复数个操控器，用以操控物镜之一个或复数个光学元件；控制单元，用以调节或控制一个或复数个操控器；决定装置，用以决定物镜之至少一个或复数个像差；记忆体，包含物镜之一个或复数个规格之上限，其包含像差及/或操控器移动之上限，其中当决定其中一个像差之超过其中一个上限时，及/或其中一个操控器移动超过其中一个上限时，最多在30000ms、或10000ms、或5000ms、或1000ms、或200ms、或20ms、或5ms、或1ms内，调节或控制至少一操控器，而可达到不超过上限。 |
