沉积设备;DEPOSITION APPARATUS

摘要

沉积设备包含配置以设置基板于包含一表面之移动单元上之基板组合单元；配置以抬升第一阻挡构件之第一阻挡构件组合单元；包含一或多个沉积组件配置以在基板上沉积材料之第一沉积单元；配置以将第一阻挡构件从移动单元向下分离之第一阻挡构件分离单元；以及配置以在第一方向上输送移动单元之第一输送单元，其中一或多个沉积组件以预定距离与基板间隔隔开，使得当移动单元在第一方向上输送时，材料在第一沉积单元中被沉积在基板上。