使用特制印刷方法的多重柱电子束检测;MULTI-COLUMN ELECTRON BEAM INSPECTION THAT USES CUSTOM PRINTING METHODS

摘要

一种测试光罩印刷错误的方法，包含将一光罩印刷划分成子区域并以一不同的(例如，电子)射束柱检查每一子区域，每一子区域在一校准程序期间均对齐一射束柱轴线。不同的子区域可以在一晶圆平面上的不同光罩印刷上接受检测。