模板组件及模板组件的制造方法

摘要

本发明是一种模板组件，在研磨工件时用以保持该工件，该模板组件的特征在于：具有PET(聚对苯二甲酸乙二酯)基材；环状的模板部，其被黏结在该PET基材的底面的外周部；及，圆盘状的衬垫，其被黏结在前述PET基材的底面的部；并且，在前述模板部的内面与前述衬垫的底面，形成有在研磨时收容并保持前述工件之凹部，且在前述模板部的内面上部形成有环状的缺口部，在该缺口部卡合有前述衬垫的周缘部。藉此，能够一边抑制工件的刮痕或缺陷等的发生，一边减低凹部的深度的面内偏差来能够提升研磨后的工件的平坦度。