雷射加工装置及雷射加工方法

摘要

雷射加工装置，系使雷射光聚光于加工对象物，该加工对象物系将含矽的矽部透过树脂部积层于含玻璃的玻璃部而构成，藉此沿着切断预定线在加工对象物之内部形成改质区域。雷射加工装置系具备：雷射光源，用以射出雷射光；及空间光调变器，用以调变藉由雷射光源所射出的雷射光；以及聚光光学系统，用以将藉由空间光调变器所调变后的雷射光聚光于加工对象物。空间光调变器，当在玻璃部形成改质区域的情况，作为调变图案系显示轴棱锥透镜图案，藉此使雷射光聚光于玻璃部，而在沿着雷射光照射方向邻近排列的复数个位置形成聚光点。