用于清理有机材料之方法及设备;METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING ORGANIC MATERIALS

摘要

提供一种方法及设备用于清理在用于沉积有机材料过程中之遮罩上所累积的有机材料。设备包含电浆产生单元、连结于电浆产生单元且容纳遮罩于其中之清理室、设置于清理室内配置以注入电浆之气体注射口、以及设置于遮罩之第一表面上之冷却装置，遮罩之第一表面相对于面向气体注射口之遮罩之第二表面。