| 摘要 |
一种省空间的曝光装置的光源装置，光束合成元件在光束合成时的光损失少，不需使光束合成元件大型化，并且能替代现有的曝光装置的灯管光源。此光源装置包括：排列复数个第1、第2、第3的波长特性的光源元件而成的第1、第2、第3阵列光源；排列对应第1、第2、第3阵列光源的各光源元件的准直透镜而成的第1、第2、第3透镜阵列；将第1透镜阵列形成的第1波长特性的平行光及第2透镜阵列形成的第2波长特性的平行光合成为第1合成光束的第1光学合成元件；将第1光学合成元件的第1合成光束及第3透镜阵列形成的第3波长特性的平行光合成为第2合成光束的第2光学合成元件；以及将第2光学合成元件合成的第2合成光束集光于光量均一化元件的聚光透镜。 |
