发明名称 | 产生布局图案的方法;METHOD FOR GENERATING LAYOUT PATTERN | ||
摘要 | 一种产生布局图案的方法,包括提供布局图案至电脑系统,并对布局图案进行分类,以区分成两个次图案以及一空白图案,其中各次图案系具有互呈整数倍的节距,且空白图案系位于次图案间。继以产出复数个第一条状图案以及至少二第二条状图案。其中,第一条状图案的边缘系切齐于相对应次图案的边缘,且第一条状图案彼此等距以及等宽;而第二条状图案的宽度或间距相异于第一条状图案的宽度或间距。 | ||
申请公布号 | TW201506529 | 申请公布日期 | 2015.02.16 |
申请号 | TW102129307 | 申请日期 | 2013.08.15 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 曹博昭;洪世芳;黄家纬;陈明瑞;邹世芳;魏铭德 |
分类号 | G03F1/36(2012.01);G06F17/50(2006.01) | 主分类号 | G03F1/36(2012.01) |
代理机构 | 代理人 | 吴丰任戴俊彦 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |