| 发明名称 |
MEMS-Sensor zur Detektion von Umgebungsparametern |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein mikrotechnisch aus einem Wafer (1) hergestelltes Bauelement (2) zur Detektion von Umgebungsparametern mit einem in einer Plattenebene (9) schwingend aufgehängten Plattenelement (6), wobei das Plattenelement (6) mit seiner Plattenebene (9) im Wesentlichen senkrecht zur Waferoberfläche (3) des Wafers (1) angeordnet ist.</p> |
| 申请公布号 |
AT513634(B1) |
申请公布日期 |
2015.02.15 |
| 申请号 |
AT20120050559 |
申请日期 |
2012.12.05 |
| 申请人 |
TECHNISCHE UNIVERSITÄT WIEN |
发明人 |
SÁNCHEZ DE ROJAS ALDAVERO JOSÉ LUIS DR.;DÖRR NICOLE DR.;KUCERA MARTIN DIPL.ING.;BITTNER ACHIM DR.;SCHMID ULRICH DR. |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;G01N11/16;G01N29/028 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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