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发明名称 METHOD FOR FORMING GRAPHENE PATTERN, AND ELECTRONIC ELEMENT AND QUANTUM ELEMENT HAVING GRAPHENE PATTERN MANUFACTURED THRERBY
摘要
申请公布号 KR101493334(B1) 申请公布日期 2015.02.13
申请号 KR20130086796 申请日期 2013.07.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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