摘要 |
<p>Vorrichtung zum Wenden eines Gegenstands (12) in einer Vakuumbeschichtungsanlage–mit einem auf einem Träger (2) um eine Drehachse (23) wendbar gelagerten Halter (10) für den Gegenstand (12) und–mit einer den Halter (10) durch Drehung um die Drehachse (23) wendenden Wendeeinrichtung (2, 4, 28), dadurch gekennzeichnet, dass–die Wendeeinrichtung (2, 4, 28) eine magnetische Kraft zur Drehung des Halters (10) um die Drehachse (23) erzeugt, welche den Halter (10) ohne mechanische Kopplung zwischen Wendeeinrichtung (2, 4, 28) und Halter (10) wendet und welche ohne mechanisch bewegliche Bauteile von der Wendeeinrichtung (2, 4, 28) auf den Halter (10) übertragen wird.</p> |