发明名称 Vorrichtung zum Wenden eines Gegenstands in einer Vakuumbeschichtungsanlage, Verfahren zum Wenden eines Gegenstands in einer Vakuumbeschichtungsanlage sowie deren Verwendung
摘要 <p>Vorrichtung zum Wenden eines Gegenstands (12) in einer Vakuumbeschichtungsanlage–mit einem auf einem Träger (2) um eine Drehachse (23) wendbar gelagerten Halter (10) für den Gegenstand (12) und–mit einer den Halter (10) durch Drehung um die Drehachse (23) wendenden Wendeeinrichtung (2, 4, 28), dadurch gekennzeichnet, dass–die Wendeeinrichtung (2, 4, 28) eine magnetische Kraft zur Drehung des Halters (10) um die Drehachse (23) erzeugt, welche den Halter (10) ohne mechanische Kopplung zwischen Wendeeinrichtung (2, 4, 28) und Halter (10) wendet und welche ohne mechanisch bewegliche Bauteile von der Wendeeinrichtung (2, 4, 28) auf den Halter (10) übertragen wird.</p>
申请公布号 DE102006041137(B4) 申请公布日期 2015.02.12
申请号 DE20061041137 申请日期 2006.09.01
申请人 CARL ZEISS VISION GMBH 发明人 MACIONCZYK, FRANK, DR.
分类号 C23C14/50;C23C14/24;G02B1/04;G02B1/10;G02B3/00 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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