发明名称 メモリの製造方法
摘要
申请公布号 JP5668819(B2) 申请公布日期 2015.02.12
申请号 JP20130194087 申请日期 2013.09.19
申请人 发明人
分类号 H01L27/105;C23C14/34;H01L45/00;H01L49/00 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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