| 摘要 |
<p>Partikelfilter (214) mit einer Membran (312), die eine Vielzahl an Poren (316) aufweist, wobei wenigstens ein für das zu filternde Medium zugänglicher Teilbereich einer Oberfläche der Membran (312) aus einem Kohlenstoffmaterial mit Diamantstruktur gefertigt oder damit beschichtet ist, wobei die Membran (312) von einem Träger (314), an dem sie befestigt ist, abgestützt wird, wobei der Träger (314) aus einem durch Lithographieverfahren strukturierbaren Material gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Material des Träger (314) eine Kristallstruktur aufweist, die die Richtung eines anisotropen Ätzvorgangs vorgibt.</p> |
