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发明名称
第IIIA族金属のトリアルキル化合物の調製方法
摘要
本発明は、一般式R3M(式中、M=元素周期表(PTE)の第IIIA族金属、好ましくはガリウムまたはインジウム、かつR=C1〜C5−アルキル、好ましくはメチルまたはエチル)で示されるトリアルキル金属化合物の調製方法に関する。本方法は、補助ベースとしての少なくとも1種のアルカリ金属ハロゲン化物の存在下での金属三塩化物(MCl3)とアルキルアルミニウムセスキクロリド(R3Al2Cl3)との反応に基づく。反応混合物を120℃超の温度に加熱して、分離器を介して反応混合物からトリアルキル金属化合物を分離し、同時に、部分アルキル化生成物を反応混合物に再循環する。さらなる工程では、反応混合物を最高350℃に加熱して、残存する完全アルキル化生成物および部分アルキル化生成物を分離する。任意選択で、このようにして得られた生成物を本方法に再循環することが可能である。本方法は、トリアルキル金属化合物の高い収率さらには高い金属利用率を呈し、生成物は、MOCVDプロセスのための前駆体として使用される。
申请公布号
JP2015504439(A)
申请公布日期
2015.02.12
申请号
JP20140542885
申请日期
2012.11.28
申请人
ユミコア・アクチエンゲゼルシャフト・ウント・コムパニー・コマンディットゲゼルシャフトUmicore AG & Co.KG
发明人
ラルフ・カルシュ;アンドレアス・リヴァス−ナス;アニカ・フレイ;トビアス・ブケルト;アイリーン・ヴォアナー;アンゲリノ・ドッピウ
分类号
C07F5/00;C23C16/18
主分类号
C07F5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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