六轴MEMS运动传感器的性能测试装置及其测试方法

摘要

六轴MEMS运动传感器的性能测试装置，包括主、副马达，主、副框架和测试电路板；主转轴固定在主马达上，主框架与主转轴相连；副转轴固定在副马达上，副框架与副转轴相连；测试电路板装在副框架上，测试电路板的测试线经副空心轴接入副绕线架中。本装置可以对待测样品施加X、Y、Z三个轴向的加速度激励信号和角速度激励信号，完成测试，具有系统简单，造价低，产能高的优点。本发明的测试方法通过主、副马达的转动，将待测样品的三个感应轴分别对准地球引力的正反方向，测出其初始加速度信号；然后将待测样品的三个感应轴分别对准主转轴轴心线或副转轴轴心线，控制主马达或副马达匀速转动，测出待测样品的初始角速度信号。本方法操作简单、产能高。

主权项

六轴MEMS运动传感器的性能测试装置，其特征在于：包括主马达、副马达、主框架、副框架、主转轴、副转轴、主空心轴、副空心轴、主绕线架、副绕线架和测试电路板；所述主马达固定在左固定架上，主转轴固定在主马达上，主框架一端与主转轴相连，另一端与主空心轴相连，主空心轴固定在右固定架上，主转轴与主空心轴位于同一条主转轴轴心线上，主马达的控制线直接与电路测试系统相接；所述副马达固定在主框架上，主框架和副框架都呈四边形，副马达位于主框架的一条与主转轴轴心线平行的边上，副转轴固定在副马达上，副框架一端与副转轴相连，另一端与副空心轴相连，副空心轴固定在主框架的另一条边上，副转轴与副空心轴位于同一条副转轴轴心线上，所述副转轴轴心线与主转轴轴心线相垂直，副马达的控制线经主空心轴接入主绕线架中；所述主绕线架由主绕线盘、主弹性电线和主固定杆组成，所述主绕线盘包括主外绕线盘和主内绕线盘，所述主外绕线盘和主内绕线盘是彼此平行的平板，主外绕线盘和主内绕线盘都固定在主固定杆上，形成容纳主弹性电线活动的空间，主外绕线盘和主内绕线盘与主空心轴间有间隙，所述主弹性电线的一端固定在主空心轴上，另一端固定在主固定杆上；所述副绕线架的结构与主绕线架的结构相同，副绕线架的副绕线盘通过副固定杆固定在主框架上，围绕在副空心轴上，与副空心轴间有间隙，所述副绕线架的信号线经主空心轴接入主绕线架中，与副马达的控制线汇总成总线，从主绕线架中引出，与电路测试系统连接；所述测试电路板安装在副框架上，测试电路板上有若干条测试线，测试线经副空心轴接入副绕线架中。