石英坩埚及其制备方法

摘要

本发明揭示了一种石英坩埚，包括坩埚主体，坩埚主体包括坩埚内壁、坩埚外壁以及坩埚底壁。坩埚内壁的底部具有通孔；在坩埚主体与硅熔液接触面上涂覆有保护涂层。上述石英坩埚，在坩埚内壁以及坩埚外壁之间形成持续注入固态或液态硅料的环形加液区。与传统技术相比，固态或液态硅料能够在环形加液区内进行温度混合以及流速缓冲，从而减少了硅熔液对晶体生长环境的温度扰动，提高了长晶质量。在坩埚主体上涂覆的保护涂层，能够减少石英由于“析晶”现象对坩埚主体的破坏，有效阻止了硅熔液与坩埚主体发生反应的几率，在提高石英坩埚的使用寿命的同时，也提高了单晶硅的纯度。此外，还揭示了石英坩埚的制备方法。

主权项

一种石英坩埚，其特征在于，包括坩埚主体，所述坩埚主体包括坩埚内壁、全部或部分包容所述坩埚内壁的坩埚外壁以及坩埚底壁；所述坩埚内壁与所述坩埚外壁设置在所述坩埚底壁上，所述坩埚外壁与所述坩埚内壁之间保持一段距离，所述坩埚内壁的底部具有通孔。