大型闸板阀

摘要

大型平面镀真空膜生产线有若干个溅射室是连通的，给其中一个溅射室维修，所有腔室都一同放入大气。重新工作前都要一同抽气，花的时间较长。目前国内没有解决这个问题。本发明是大型闸板阀能隔离并封闭两个相邻的真空溅射室，由以下部分组成：提升机构：由电动推杆(1)提升丝杠组成(13)；压缩空气管路和真空管路(3)共用管路；壳体由上阀体(4)下阀体(5)密封胶圈(6)组成；门板系统由门板(7)，密封圈(8)，波纹管夹紧模块(9)，悬挂轴(14)组成；控制系统由行程开关(10)接近开关(11)三通阀(12)和PLC控制系统组成；这样抽气的时间较原来减少一半以上，这样可以提高设备的有效工作时间，达到节约资源的目的。

主权项

一种在两个溅射室之间的起隔离作用的大型闸板阀，其特征在于：由四部分组成：一、提升机构，它由电动推杆(1)提升丝杠组成(13)，另外有磁流体密封机构，真空密封圈和焊接波纹管(2)等在提升和静止情况下提供密封。压缩空气管路，真空管路(3)共用管路)，二、壳体，它由上阀体(4)，下阀体(5)，密封胶圈(6)组成；三、门板系统，它由门板(7)，密封圈(8)，波纹管夹紧模块(9)，悬挂轴(14)组成；控制系统，它由行程开关(10)，接近开关(11)，两位三通阀(12)和PLC控制系统组成。