| 发明名称 | 激光照射装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了激光照射装置。该激光照射装置包括：激光束生成器，配置为生成激光束；狭缝单元，配置为选择性地透过激光束；镜单元，配置为改变选择性透过的激光束的第二部分的路径，以将选择性透过的激光束的第二部分照射到处理目标上；第一光学系统，选择性透过的激光束的第一部分穿过镜单元并被投射到第一光学系统；以及第二光学系统，选择性透过的激光束的第二部分穿过镜单元并被投射到第二光学系统。 | ||
| 申请公布号 | CN104347369A | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | CN201410236015.8 | 申请日期 | 2014.05.29 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 金俊亨;李惠淑;金成坤;丁一荣;韩圭完;柳济吉;赵庚石 |
| 分类号 | H01L21/268(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/268(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 余朦;王艳春 |
| 主权项 | 一种激光照射装置，包括：激光束生成器，配置为生成激光束；狭缝单元，配置为选择性地使所述激光束透过；镜单元，配置为改变选择性透过的所述激光束的第二部分的路径，以将选择性透过的所述激光束的所述第二部分照射到处理目标上；第一光学系统，选择性透过的所述激光束的第一部分穿过所述镜单元并被投射到所述第一光学系统；以及第二光学系统，选择性透过的所述激光束的所述第二部分穿过所述镜单元并被投射到所述第二光学系统。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||