具有规则结构之矽基板的制造方法

主权项

一种具有规则结构之矽基板的制造方法，其包括：提供一矽基板；提供自组装之复数个聚合物排列于该矽基板之一表面上，以使该些聚合物接触之该表面为一第一区域，且该些聚合物未接触之该表面为一第二区域；利用一电浆处理该矽基板之该表面之该第二区域，以于该第二区域产生一保护层；以及使该矽基板进行一蚀刻处理，以侵蚀该第一区域而产生复数个凹部，而得到具有规则结构之该矽基板；其中，该些聚合物系为复数个球状聚合物。