发明名称 双模质量流量验证和质量流量输送系统与方法
摘要
申请公布号 TWI472721 申请公布日期 2015.02.11
申请号 TW098139115 申请日期 2009.11.18
申请人 MKS公司 发明人 丁军华;札卡尔 凯佛
分类号 G01F1/76 主分类号 G01F1/76
代理机构 代理人 林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项 一种用于一流体的质量流动输送和用于该流体的质量流动验证的系统,该系统包含:一容室;一入口阀用来控制该流体进入该容室的流动;一出口阀用来控制该流体流出该容室的流动;一压力感测器用来测量该容室内的压力;一控制器;其中在一第一模式时,该控制器被配置来控制该入口阀和该出口阀的开启和关闭,以便藉由一设备来验证该流体的一流动率的一测量值;其中在一第二模式时,该控制器被配置来控制该入口阀和该出口阀的开启和关闭,以便从该容室输送该流体的一需要量到一输出处理设备,以及其中该控制器对一输入有所反应用来选择出该第一和该第二模式。
地址 美国