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发明名称
REMOVAL OF BORON AND PHOSPHOROUS-CONTAINING GLASSES FROM SILICON SURFACES
摘要
申请公布号
US3669775(A)
申请公布日期
1972.06.13
申请号
USD3669775
申请日期
1969.12.29
申请人
BELL TELEPHONE LAB. INC.
发明人
ROY A. PORTER
分类号
H01L21/311;(IPC1-7):H01L7/50
主分类号
H01L21/311
代理机构
代理人
主权项
地址
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