固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法

摘要

本发明提供固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法，提高放大晶体管的输出线性。根据本发明的一个实施方式，提供一种固体摄像装置。固体摄像装置具备光电转换元件、浮动传播区以及放大晶体管。光电转换元件将入射的光光电转换成与受光量相对应的量的电荷而进行蓄积。浮动传播区临时蓄积从光电转换元件读出的电荷。放大晶体管的栅极电极与浮动传播区连接，输出基于蓄积于浮动传播区的电荷量的信号。此外，放大晶体管具备设置于耗尽层的最大区域的至少一部分的第一浓度区域以及设置于比第一浓度区域深的位置且杂质浓度比第一浓度区域的杂质浓度高的第二浓度区域。

主权项

一种固体摄像装置，具备：光电转换元件，将入射的光光电转换成与受光量相对应的量的电荷而进行蓄积；浮动传播区，临时蓄积从所述光电转换元件读出的电荷；以及放大晶体管，栅极电极与所述浮动传播区连接，该放大晶体管输出基于蓄积于所述浮动传播区的电荷量的信号，所述放大晶体管具备：第一浓度区域，设置于耗尽层的最大区域的至少一部分；以及第二浓度区域，设置于比所述第一浓度区域深的位置，杂质浓度比所述第一浓度区域的杂质浓度高。