| 发明名称 | 垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的制作方法和制作装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的制作方法和制作装置，包括：步骤一：制作镂空掩模板（9、10、11、12），该镂空掩模板的镂空图案用于限定薄膜热电器件的热电臂阵列的至少部分图案，将衬底（8）固定在衬底托（7）上；步骤二：在衬底托和镂空掩模板上分别形成位置相对的至少一套定位孔（13a-13e），每套定位孔中包括至少三个定位孔，通过在定位孔上放置定位滚珠（14）以将镂空掩模板间隔地定位安装在衬底托上；步骤三：将衬底托和镂空掩模板装夹固定，利用物理气相沉积技术并透过镂空掩模板在衬底上完成镂空图案的沉积制作。热电器件的图形由多块镂空掩模板实现，利用了滚珠精确定位，高效且方便。 | ||
| 申请公布号 | CN104347789A | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | CN201310337004.4 | 申请日期 | 2013.08.05 |
| 申请人 | 国家纳米科学中心 | 发明人 | 王汉夫;官爱强;褚卫国 |
| 分类号 | H01L35/34(2006.01)I | 主分类号 | H01L35/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人 | 王崇;刘国平 |
| 主权项 | 一种垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的制作方法，其特征在于，该制作方法包括：步骤一：制作镂空掩模板（9、10、11、12），该镂空掩模板的镂空图案用于限定所述垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的至少部分图案，并且将衬底（8）固定在衬底托（7）上；步骤二：在所述衬底托（7）和镂空掩模板（9、10、11、12）上分别形成位置相对的至少一套定位孔（13a‑13e），每套所述定位孔中包括至少三个定位孔，通过在所述定位孔（13a‑13e）上放置定位滚珠（14）以将所述镂空掩模板（9、10、11、12）间隔地定位安装在所述衬底托（7）上；步骤三：将所述衬底托（7）和镂空掩模板（9、10、11、12）装夹固定，利用物理气相沉积技术并透过所述镂空掩模板（9、10、11、12）在所述衬底（8）上完成该镂空掩模板（9、10、11、12）的镂空图案的沉积制作。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村北一条11号 | ||