| 发明名称 | MEMS开关设备和制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及MEMS开关设备和制造方法。一种微机电系统(MEMS)开关设备，包括：基材层；在所述基材层上形成的绝缘层；以及具有在所述绝缘层的表面上形成的多个触点的MEMS开关模块，其中，所述绝缘层包括在绝缘层内形成的多个导电路径，所述导电路径被配置成相互连接所述MEMS开关模块的所选触点。 | ||
| 申请公布号 | CN104347320A | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | CN201410367891.4 | 申请日期 | 2014.07.30 |
| 申请人 | 亚德诺半导体集团 | 发明人 | J·G·麦克纳马拉;P·L·菲兹格拉德;R·C·格金;B·P·斯坦森 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01)I;H01H49/00(2006.01)I | 主分类号 | H01H59/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 郭思宇 |
| 主权项 | 一种微机电系统(MEMS)开关设备，包括：基材层；在所述基材层上形成的绝缘层；和具有在所述绝缘层的表面上形成的多个触点MEMS开关模块，其中，所述绝缘层包括在绝缘层内形成的多个导电路径，所述导电路径被配置成相互连接所述MEMS开关模块的所选触点。 | ||
| 地址 | 百慕大群岛(英)哈密尔顿 | ||