图案形成方法及图案形成装置

摘要

本发明提供一种图案形成方法。从沿着基板(W)的表面(Wf)向扫描移动方向(Ds)移动的嘴体(N)喷出含有光固性材料的涂敷液，并且从以追随嘴体(N)的方式移动的光射出部(E)对涂敷液照射光(例如UV光)。在到达涂敷结束位置时，嘴体(N)停止喷出涂敷液，并且嘴体(N)向与基板表面(Wf)相分离的方向退避。另一方面，对于光照射部(E)而言，继续向扫描移动方向(Ds)移动，从而光能够可靠地照射到涂敷液的末端部。

主权项

一种图案形成方法，其特征在于，包括：第一工序，一边使嘴体沿着基板的表面向规定的扫描移动方向相对移动，一边从所述嘴体的喷出口连续地喷出含有光固性材料的涂敷液，第二工序，使光射出单元以追随所述嘴体的方式沿着所述基板的表面向所述扫描移动方向相对移动，并对涂敷于所述基板的所述涂敷液进行光照射，从而使所述光固性材料光固化；当所述嘴体相对于所述基板的相对位置到达规定的涂敷结束位置时，从所述喷出口停止喷出所述涂敷液，并且使所述嘴体相对于所述基板的表面的相对移动方向从沿着所述基板的表面的所述扫描移动方向变化为接近分离方向中的分离方向，该接近分离方向为与所述基板的表面相接近及分离的方向；在所述嘴体与所述基板的表面相分离后，使所述光射出单元相对于所述基板向所述扫描移动方向相对移动来进行光照射，直到照射到因所述喷出口停止喷出而终断的所述涂敷液的末端部为止。