发明名称 |
一种偏置平板的调整装置 |
摘要 |
本发明公开了一种偏置平板的调整装置,设于调焦调平主框架板上用于调整偏置平板的角度,包括平面连杆机构和旋转电机,所述旋转电机固定设置于调焦调平主框架板上,所述偏置平板与所述调焦调平主框架板活动连接,所述旋转电机经所述平面连杆机构带动所述偏置平板旋转。本发明的偏置平板的调整装置采用平面连杆机构和旋转电机来实现对偏置平板的角度控制,一方面,由于可以通过调整平面连杆机构各杆件的长度来调整偏置平板的旋转精度,因此,可以降低对旋转电机的精度要求,同时可以降低制造成本和提高装置的可靠性。 |
申请公布号 |
CN103197519B |
申请公布日期 |
2015.02.11 |
申请号 |
CN201210005087.2 |
申请日期 |
2012.01.09 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
章富平;鲁武旺;李志丹 |
分类号 |
G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种偏置平板的调整装置,设于调焦调平主框架板上用于调整偏置平板的角度,其特征在于,包括平面连杆机构和旋转电机,所述旋转电机固定设置于调焦调平主框架板上,所述偏置平板与所述调焦调平主框架板活动连接,所述旋转电机经所述平面连杆机构带动所述偏置平板旋转;所述平面连杆机构包括第一连杆、第二连杆和第三连杆,所述第二连杆的两端分别与所述第一连杆的一端和所述第三连杆的一端活动连接,所述第一连杆的另一端与所述旋转电机的旋转轴固定连接,所述第三连杆的另一端与所述偏置平板固定连接;所述第一连杆、第二连杆、第三连杆和调焦调平主框架板构成封闭矢量多边形。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张东路1525号 |