一种单晶炉二次增料装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉二次增料装置，属于单晶硅制造装置领域，其包括提拉杆、固定圈、支撑圈、外筒，其特征在于：所述的支撑圈和下环与外筒相连接，内筒连接在下环上，固定圈分别与外筒和内筒相连接，提拉头和提拉杆都连接在上环上，拉杆与上环相连接，连杆与拉杆用销钉连接，短拉杆的两端采用球副机构分别与连杆和花瓣连接，花瓣利用活页连接在内筒上。本实用新型结构新颖，设计紧凑，有效的解决了原有单晶炉二次增料装置硅料卡壳和硅料污染的问题。

主权项

一种单晶炉二次增料装置，其包括提拉杆（12）、固定圈（8）、支撑圈（4）、外筒（5），其特征在于：所述的支撑圈（4）和下环（9）与外筒（5）相连接，内筒（13）连接在下环（9）上，固定圈（8）分别与外筒（5）和内筒（13）相连接，提拉头（11）和提拉杆（12）都连接在上环（10）上，拉杆（6） 与上环（10）相连接，连杆（3）与拉杆（6）用销钉连接，短拉杆（2）的两端采用球副机构分别与连杆（3）和花瓣（1）连接，花瓣（1）利用活页（7）连接在内筒（13）上。