基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置

摘要

基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；由四条标准测量光束在该平面投影点构成的四边形区域内，四条标准测量光束和四条被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近。

主权项

一种基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法，其特征在于该方法步骤如下：(1)标准激光干涉仪激光器的输出光经四轴中空激光干涉镜组形成相互平行的四条标准测量光束，并都入射到有中间孔的平面镜上，在垂直于四条标准测量光束的平面内，第一条与第二条标准测量光束投影位置点之间的连接线段M长为A，第三条与第四条标准测量光束投影位置点之间的连接线段N长为B，两连接线段相交，每条标准测量光束中带有平面镜位移信息的部分光被反射回四轴中空激光干涉镜组后，根据从四轴中空激光干涉镜组中获得的干涉信号，得到连接线段M所在直线与连接线段N所在直线分别与有中间孔的平面镜入射面夹角的变化值arctan((a₁‑a₂)/A)、arctan((b₁‑b₂)/B)，其中，a₁、a₂、b₁和b₂分别为有中间孔的平面镜上第一条、第二条、第三条和第四条标准测量光束入射区域的线位移测量值；(2)被校准激光干涉仪激光器的输出光经被校准激光干涉仪干涉镜组形成相互平行的四条被校准激光干涉仪测量光束，被校准激光干涉仪四条测量光束都穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，与四条标准测量光束平行，并都入射到被校准激光干涉仪平面反射镜上，在垂直于四条标准测量光束的平面内，第一条与第二条被校准激光干涉仪测量光束投影位置点之间的连接线段m长为C，第三条与第四条被校准激光干涉仪测量光束投影位置点之间的连接线段n长为D，连接线段m与连接线段M共线，连接线段n与连接线段N共线，四条带有被校准激光干涉仪平面反射镜位移信息的被校准激光干涉仪测量光束反射回被校准激光干涉仪干涉镜组后，根据从被校准激光干涉仪干涉镜组中获得的干涉信号，得到连接线段m所在直线与连接线段n所在直线分别与被校准激光干涉仪平面反射镜入射面夹角的变化值arctan((c₁‑c₂)/C)、arctan((d₁‑d₂)/D)，其中，c₁、c₂、d₁和d₂分别为被校准激光干涉仪平面反射镜上第一条、第二条、第三条和第四条被校准激光干涉仪测量光束入射区域的线位移测量值；(3)运动台进行任意旋转方向的小角度偏摆，以匀速或非匀速采样速率，同步采样标准激光干涉仪夹角变化值arctan((a₁‑a₂)/A)、arctan((b₁‑b₂)/B)和被校准激光干涉仪夹角变化值arctan((c₁‑c₂)/C)、arctan((d₁‑d₂)/D)，将arctan((a₁‑a₂)/A)和arctan((c₁‑c₂)/C)作差，arctan((b₁‑b₂)/B)和arctan((d₁‑d₂)/D)作差，最终得到两组角位移校准测量误差值。