射频电源系统和利用射频电源系统进行阻抗匹配的方法

摘要

本发明提供一种射频电源系统，该射频电源系统包括射频电源、电连接在所述射频电源与等离子体腔室之间的自动阻抗匹配器，其中，所述射频电源的频率能够在最小预定频率和最大预定频率之间调节，通过调节所述射频电源的频率以及通过所述自动阻抗匹配器调节匹配网络的输入阻抗能够使得匹配网络的输入阻抗与所述射频电源的恒定输出阻抗相等。本发明还提供一种利用射频电源系统进行阻抗匹配的方法。利用本发明所提供的射频电源系统可以在较短的时间内即可达到阻抗匹配。

主权项

一种射频电源系统，该射频电源系统包括射频电源和电连接在所述射频电源与等离子体腔室之间的自动阻抗匹配器，其特征在于，所述射频电源的频率能够在最小预定频率和最大预定频率之间调节，通过调节所述射频电源的频率以及通过所述自动阻抗匹配器调节匹配网络的输入阻抗能够使得匹配网络的输入阻抗与所述射频电源的恒定输出阻抗相等。